单轴折叠弹簧梁叉指电容加速度计

摘要

本发明涉及一种单轴折叠弹簧梁叉指电容加速度计，包括基底及结构层，结构层包括上下锚点、左右弹性梁、质量块、左右锚点；所述上下锚点靠近质量块的侧面上设有极板组，每对极板组包括第一极板和第二极板，质量块的上下侧面设有第三极板；其特征是：所述第三极板、左弹性梁、右弹性梁和质量块的结构自底层向上依次为第一介质层、第一金属层、第二介质层、第二金属层、第三介质层、第三金属层和钝化层，第一金属层和第二金属层由第一钨塞连接，第二金属层和第三金属层由第二钨塞连接；在结构层上刻蚀形成多个垂直于基底的侧墙，在基底上设置悬空结构。本发明所述电容加速度计的灵敏度高，提高了可制造性，制造成本低。