光学元件表面及亚表面缺陷检测红外锁相成像方法及装置

摘要

本发明公开了一种光学元件表面及亚表面缺陷检测红外锁相成像方法及装置，该方法及装置将红外成像技术与锁相放大检测技术结合，通过利用受调制的泵浦激光激发样品产生周期性红外辐射，利用红外探测阵列来探测所产生的红外辐射，并对红外探测阵列的信号进行锁相放大检测，获得有关样品缺陷的高分辨的图像信息，同时利用所激发的红外辐射在选定波段对一些光学材料穿透深度非常有限的物理特性来排除样品体内红外信号对检测结果的影响，从而只对样品表面及亚表面的吸收缺陷分布进行成像检测。该方法和装置适用于光学元件表面及亚表面吸收缺陷检测与成像，特别适合特大型高功率激光系统中常用的大口径光学元件表面及亚表面吸收缺陷的检测与成像。