磁铁单元、磁铁阵列、磁浮平面电机及应用该磁浮平面电机的光刻装置

摘要

本发明公开一种十字型磁铁单元，包括第一磁铁及围绕第一磁铁的第二磁铁单元，所述第一磁铁是N极磁铁或S极磁铁，所述第一磁铁的磁化方向沿Z轴方向，所述第二磁铁单元包括四组结构相同的磁铁组合，所述四组磁铁组合分别位于沿X轴方向和沿Y轴方向，所述磁铁组合的磁化方向指向N极磁铁或者远离S极磁铁，所述每组磁铁组合由至少两个棱柱磁铁、或棱锥磁铁、或棱台磁铁组成。本发明还公开一种磁铁阵列、磁浮平面电机及应用该磁浮平面电机的光刻装置。