公开/公告号CN1163945C
专利类型发明授权
公开/公告日2004-08-25
原文格式PDF
申请/专利权人 现代电子产业株式会社;
申请/专利号CN00121997.9
发明设计人 张普舜;
申请日2000-06-22
分类号H01L21/00;G06F9/00;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人黄敏
地址 韩国京畿道
入库时间 2022-08-23 08:56:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-08-13
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 授权公告日:20040825 终止日期:20130622 申请日:20000622
专利权的终止
2004-08-25
授权
授权
2002-08-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2001-01-03
公开
公开
机译: 半导体晶片处理设备和用于处理一批晶片数量可变的晶片的方法
机译: 半导体晶片处理设备和用于处理一批晶片数量可变的晶片的方法
机译: 半导体工厂自动化系统和用于以全自动或半自动模式处理一批半导体晶片的方法