一种挡光式微机电可变光衰减器

摘要

本发明公开了一种挡光式微机电可变光衰减器，其包括：输入输出光纤、固定遮光板、可动MEMS器件、磁场产生装置和驱动电路；固定遮光板中心具有通光孔，驱动电路和固定遮光板的下表面与可动MEMS器件的上表面对准键合，可动MEMS器件中心具有运动遮光板，磁场产生装置为中心漏空结构，且可动MEMS器件和磁场产生装置的中心与通光孔的中心位于同一轴线；其中，光从输入光纤输入，通过固定遮光板的通光孔后，再经可动MEMS器件产生可控的光衰减后，由输出光纤输出；所述磁场产生装置提供与通过可动MEMS器件的电流相互作用产生洛伦兹力，驱动所述运动遮光板产生运动。本发明公开的可变光衰减器的光衰减量连续可调。