法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-06-03
授权
授权
2013-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/73 申请日:20110819
实质审查的生效
2013-03-06
公开
公开
机译: 由高熔点金属合金,高熔点金属硅化物,高熔点金属碳化物,高熔点金属氮化物或高熔点金属硼化物的耐烧结材料形成的靶,其制造方法,溅射靶背板的组装及其制造方法
机译: 由高熔点金属合金,高熔点金属硅化物,高熔点金属碳化物,高熔点金属氮化物或高熔点金属硼化物的耐烧结材料形成的靶,其制造方法,溅射靶背板的组装及其制造方法
机译: 高熔点金属合金,高熔点金属硅化物,高熔点金属碳化物,靶及其制造方法以及由高熔点金属氮化物或高熔点金属的火焰烧结体构成的相同溅射靶。点金属硼化物-背板组件及其生产方法