公开/公告号CN103078009B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-05-27
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201310013303.2
申请日2013-01-14
分类号H01L31/18(20060101);
代理机构31233 上海泰能知识产权代理事务所;
代理人宋缨;孙健
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号5号楼505室
入库时间 2022-08-23 09:26:17
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-05-27
授权
授权
2013-07-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20130114
实质审查的生效
2013-05-01
公开
公开
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