柔性电容式触觉传感器及其柔性电容单元的制备方法

摘要

本发明涉及一种柔性电容式触觉传感器，包括柔性电容单元以及与其电连接的信号处理电路电路板，所述柔性电容单元包括柔性绝缘介质层，其上、下表面分别开设与上导电电容极板层、下导电电容极板层的形状相吻合的凹槽，上导电电容极板层嵌入在柔性绝缘介质层的上表面开设的凹槽内，下导电电容极板层嵌入在柔性绝缘介质层的下表面开设的凹槽内。本发明还公开了一种柔性电容式触觉传感器的制备方法。本发明既能同时检测出三维力的大小，又具有良好的整体柔性，结构设计降低了三维力求解的难度，电容式传感器可满足实时检测的要求，并且其结构紧凑，整体性强，从而使其工作稳定，使用方便，适应性好，适用范围广。