对气体流动控制器进行现场测试的方法和设备

摘要

本发明的方法和装置使用气体流动控制器(GFC)上游的压降率，来准确地测量通过GFC的流率。在不需要任何特定或复杂的压力调节器或其它特定部件的前提下，使得能够测量通过目前生产使用中的许多气体流动控制器的气体流量。各种措施确保在测量期间或测量之后发生的压力变化不会在测试中干扰通过GFC的气体恒定流量。