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公开/公告号CN1148563C
专利类型发明授权
公开/公告日2004-05-05
原文格式PDF
申请/专利权人 拉姆研究公司;
申请/专利号CN00813641.6
发明设计人 安德鲁·佩里;兰德尔·S·蒙特;
申请日2000-09-27
分类号G01B11/06;H01L21/66;
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人李辉
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 08:56:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2004-05-05
授权
2003-01-15
实质审查的生效
2002-10-30
公开
机译: 使用脉冲宽带光源原位监测等离子体刻蚀和沉积过程的方法和设备
机译: 利用脉冲宽带信号原位监测等离子体刻蚀和沉积过程的方法和装置
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