有机金属化学气相沉积系统及有机金属化学气相沉积方法

摘要

本发明公开了一种有机金属化学气相沉积系统及方法，该系统包括第一进气口、第二进气口、第一管路分支部及第二管路分支部，第一进气口及第二进气口位于一供气装置上，第一管路分支部提供一气体至第一进气口及/或第二进气口，第一管路分支部所提供的气体以一第一流量流向第一进气口及/或以一第二流量流向第二进气口，第二管路分支部提供一气体至第一进气口及/或第二进气口，第二管路分支部所提供的气体以至少一第三流量流向第一进气口及/或第二进气口。