公开/公告号CN103426820B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-04-22
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市华星光电技术有限公司;
申请/专利号CN201310361689.6
发明设计人 柯凯元;
申请日2013-08-19
分类号H01L21/77(20060101);H01L51/56(20060101);G03F7/00(20060101);
代理机构44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙);
代理人刁文魁;唐秀萍
地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号
入库时间 2022-08-23 09:25:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-22
授权
授权
2013-12-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/77 申请日:20130819
实质审查的生效
2013-12-04
公开
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