首页> 中国专利> 避免有机发光二极管显示设备中金属线路短路的方法

避免有机发光二极管显示设备中金属线路短路的方法

摘要

本发明涉及一种避免有机发光二极管显示设备中金属线路短路的方法。所述方法包括:在一基板上形成一无机层;在所述无机层上形成一金属层,所述金属层包括两条金属线路;在所述金属层的所述两条金属线路上形成一有机层;在所述有机层上形成一氧化铟锡层;涂布一光阻层;以一光罩对所述光阻层进行曝光,所述光罩对应所述两条金属线路之间的位置具有一透光区域,所述透光区域内设置一不透光材,所述不透光材的宽度小于所述光罩的所述透光区域的宽度;对所述光阻层进行显影;以及蚀刻以移除所述氧化铟锡层以及所述有机层的一部分。本发明能避免金属线路之间发生短路的情况。

著录项

  • 公开/公告号CN103426820B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-04-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 深圳市华星光电技术有限公司;

    申请/专利号CN201310361689.6

  • 发明设计人 柯凯元;

    申请日2013-08-19

  • 分类号H01L21/77(20060101);H01L51/56(20060101);G03F7/00(20060101);

  • 代理机构44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙);

  • 代理人刁文魁;唐秀萍

  • 地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号

  • 入库时间 2022-08-23 09:25:01

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-04-22

    授权

    授权

  • 2013-12-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/77 申请日:20130819

    实质审查的生效

  • 2013-12-04

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号