将氟改性的二氧化钛膜沉积到玻璃上的方法及其产品和设备

摘要

本发明涉及用TiCl₄蒸气经常压化学蒸汽淀积(APCVD)法将氟改性的二氧化钛膜(TiO₂)沉积到热玻璃上。它也适用于沉积其它来自其金属卤化物如SnCl₄、GeCl₄和VCl₄的金属氧化物膜。本发明采用将TiCl₄注射到热的不含氧的载气中，将载气和TiCl₄蒸气与包含雾度减小量的含氟化合物的含氧气流混合，之后将热玻璃的表面与混合的混合物相接触。该方法能以超过900/秒的沉积速度沉积氟改性的TiO₂膜。氟改性膜的晶相主要是锐钛型。膜的雾度小于1%，折射率大于或等于约2.48。本发明也提供一种实施该方法的设备和一种新颖的经涂覆的玻璃。