法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-09-12
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2004-10-06
授权
授权
2003-04-30
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-02-05
公开
公开
2002-11-13
实质审查的生效
实质审查的生效
机译: 微致动器阵列,微致动器装置,光开关,阵列和光开关系统
机译: 微致动器阵列,使用相同的微致动器系统,光开关阵列和光开关系统
机译: 微致动器,微致动器装置,光开关和光开关阵列