微小位移自混合干涉测量装置及其信号控制器和测量方法

摘要

微小位移自混合干涉测量装置及其信号控制器和测量方法是一种涉及位移精密测量的仪器和测量方法，该测量装置靶镜和支架分别固定在底座同一面的两端，在支架上固定有外筒和连接环，连接环的中间是金属板，连接环的朝向激光器的一侧接激光器套环，激光器位于激光器套环中间，激光器套环的朝向准直透镜的一侧接准直透镜套筒，准直透镜位于准直透镜套筒的外端口，探测器位于金属板中，并与激光器相接，靶镜位于靶镜筒中，激光器、准直透镜、中值滤波器、靶镜同光轴地依次排列，该信号控制器由驱动电源、锯齿波发生器、差分放大器、信号采样部件所组成，驱动电源控制激光器，探测器和锯齿波发生器的输出信号经差分放大器放大后，再输出到信号采样部件。