氮化碳超硬薄膜镀覆靶材及其制备方法

摘要

本发明涉及一种氮化碳超硬薄膜镀覆靶材及其制备方法。氮化碳超硬薄膜镀覆靶材，由二种靶材组合，分别为钛合金靶或铬合金靶与石墨靶，其特征在于各加入稀土，稀土含量占总重量百分比为0.01-5。本发明在多弧等离子体镀覆设备中使用，对工件进行镀覆，使工件表面镀覆超硬材料氮化碳薄膜。工件如：机械行业的齿轮、刀具和纺织器材上的钢领、钢圈、锭子及各种有耐磨性、硬度要求的耐磨件、刀具及模具，工件镀覆的超硬氮化碳结晶性好、稳定性好、可重复性强。