具有平顶和陡边响应的半导体光电探测器及实现方法

摘要

本发明涉及一种特殊的具有平顶和陡边响应的半导体光电探测器及实现方法。本发明半导体光电探测器具有多个高反射镜和由多个高反射镜构成的多个腔，由多个高反射镜构成的多个腔的光学长度都为或者近似为工作中心波长的一半的整数倍。由多个高反射镜构成的多个腔中的某一个腔中有薄吸收层，用来进行光电转换，即把光信号转换为电信号。本发明的结构的探测器可以获得平顶徒边的响应曲线，同时获得高的响应度和高的响应速度。