辉光放电分解装置

摘要

带有接地电极、基片、RF电极、射频电源、带有至少一个电元件的控制电路和匹配电路的辉光放电分解装置、基片都并行装在设置在各个RF电极上的接地电极上，各RF电极并行设置并彼此绝缘；匹配电路从射频电源接收射频能量；控制电路从匹配电路接收射频能量，并向RF电极提供射频能量；通过提供受到控制电路独立控制的射频功率，在基片上制作出薄膜，从而使等离子体在各电极上都受到控制。