一种利用光电效应增强的射频放电电离装置

摘要

本发明涉及一种电离装置，特别是涉及一种利用光电效应增强的射频放电装置，包括绝缘介质腔、紫外光源、气体入口、光学透镜、栅网、射频线圈和光电转换电极，所述绝缘介质腔两端开口，下端口与所述与光电转换电极连接；所述光学透镜安装于所述绝缘介质腔上端口处，并密封；所述射频线圈套设于所述绝缘介质腔中部外围；所述绝缘介质腔在所述光学透镜与所述射频线圈之间依次设置所述气体入口与所述栅网；所述紫外光源设于所述光学透镜正上方。本发明的利用光电效应增强的射频放电装置，使射频放电更容易启动，且提高了射频放电的工作气压范围、离子引出效率和放电稳定性。