正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置

摘要

本发明涉及正型光敏树脂组合物、由其制造的光敏树脂膜及含有该光敏树脂膜的半导体装置。本发明公开了正型光敏树脂组合物，其包括(A)含有第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体，该第一聚苯并噁唑前体包含化学式1所示重复单元和化学式2所示重复单元，在至少一个末端具有可热聚官能团；(B)含有酚醛树脂的溶解控制剂，该酚醛树脂包含化学式4所示重复单元；(C)光敏重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；(E)产酸剂；以及(F)溶剂；本发明还公开了用该正型光敏树脂组合物制成的光敏树脂膜以及含有该光敏树脂膜的半导体装置。该正型光敏树脂组合物具有优异的灵敏度、分辨率、图案成形性能、残余物去除性能和可靠性。