离子溅射泵

摘要

本发明提供一种外部烘焙时热能损耗小而且无需耐热性磁铁，使用通常所用磁铁在每次外部烘焙时也不必取下的离子溅射泵。其特征是在内装阴极1，2和阳极3的泵壳4与永磁铁的N极15，S极16之间有空气层18，18’，用以在外部烘焙时抑制永磁铁5，6温度上升。或者在泵壳与永磁铁5、6之间夹有隔热材料。