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准分子激光器谐振式充电电源的高精度电压控制方法

摘要

本发明公开了一种准分子激光器谐振式充电电源的高精度电压控制方法,前端采用谐振充电电源、后端采用磁开关的准分子激光电源中,谐振电容电压经取样、差分放大和与参考电压比较后驱动泄放电路对电容进行泄放的这种实时精确反馈调节方法。参考电压可以通过手动控制或者单片机输出信号控制,可以通过选择不同的电阻来调节控制的速度和精度。本发明是在谐振充电部分进行精确快速控制的方法,谐振电容电压经取样、差分放大和与参考电压比较后驱动泄放电路对电容进行泄放,可以有效的控制准分子激光器最终的放电电压,达到精确控制输出脉冲能量的目的。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-12-31

    授权

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  • 2013-05-15

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 3/09 申请日:20121222

    实质审查的生效

  • 2013-04-17

    公开

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