具有MEMS惯性感测及内置数字电子元件的集成式移动处理单元(MPU)

摘要

本发明提供一种可运作以安装至面板的表面上的模块，该模块包含线性加速度计及第一旋转传感器，该线性加速度计提供至少一个轴线上的线性加速度的测量所对应的第一测量输出，而该第一旋转传感器可操作以提供绕着至少一个轴线的旋转的测量所对应的第二测量输出。该加速度计及该第一旋转传感器是形成在第一基板上。该模块还包含专用集成电路(ASIC)，该ASIC接收来自于该线性加速度计的该第一测量输出及来自于该第一旋转传感器的该第二测量输出两者。该ASIC包含模拟数字转换器，并且实施在第二基板上。该第一基板是垂直地接合于该第二基板。