生产掺氟化锡涂层的改进的化学气相沉积法

摘要

本发明提出一种利用包含活性有机氟掺杂剂和有机锡化合物的液态涂层组合物以形成掺氟氧化锡涂层的改进的化学气相沉积法，此方法在一组特定的工艺条件下实行，以致制得的涂层具有一个实质上与沉积温度无关的恒定的和最低的薄层电阻。