法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-03
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 授权公告日:20141119 终止日期:20170717 申请日:20090717
专利权的终止
2014-11-19
授权
授权
2014-11-19
授权
授权
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20090717
实质审查的生效
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20090717
实质审查的生效
2012-05-23
公开
公开
2012-05-23
公开
公开
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