法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01P 21/00 授权公告日:20141105 终止日期:20160611 申请日:20120611
专利权的终止
2014-11-05
授权
授权
2014-11-05
授权
授权
2013-03-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 21/00 申请日:20120611
实质审查的生效
2013-03-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 21/00 申请日:20120611
实质审查的生效
2013-01-30
公开
公开
2013-01-30
公开
公开
查看全部
机译: 光学位置传感器,位置敏感检测器,光刻设备以及用于确定相对位置测量系统中使用的可移动物体的绝对位置的方法
机译: 光学位置传感器,位置敏感检测器,光刻设备以及用于确定相对位置测量系统中使用的绝对位置或可移动物体的方法。
机译: 光学位置传感器,位置敏感检测器,光刻设备以及确定在相对位置测量系统中使用的可移动对象的绝对位置的方法