法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-11-05
授权
授权
2013-07-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C22B 23/02 申请日:20130315
实质审查的生效
2013-06-12
公开
公开
机译: 化学沉积法在硅基体上制备镍薄膜和在硅基体上制备硅化镍薄膜的方法
机译: Si Si Ni化学气相沉积法在硅基体上制备镍薄膜的方法以及在硅基体上制备硅化镍薄膜的方法
机译: 化学气相沉积法在硅基体上制备镍薄膜的方法,以及在硅基体上制备硅化镍薄膜的方法