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公开/公告号CN101971301B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN200980108854.9
发明设计人 程施元;刘身健;洪延姬;符谦;
申请日2009-02-18
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人周文强
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:21:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-11-19
授权
2011-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20090218
实质审查的生效
2011-02-09
公开
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