一种啁啾二维光子晶体波导集成微流槽多通道折射率传感器

摘要

本发明提供一种啁啾二维光子晶体波导集成微流槽多通道折射率传感器，其特征在于：在单片多层晶片上采用电子束曝光和干法刻蚀工艺，或聚焦离子束工艺制备中间集成渐变型锥形波导的啁啾二维光子晶体波导，然后与微流槽键合，对多个样本折射率变化进行多通道检测。其中，啁啾二维光子晶体波导不同的缺陷宽度和形状可以使传输光波中向前传输的基模群速度耦合到向后传输的不同高阶模的群速度，其基模与多个高阶模的交叉点对应的多个频率的光能，会反向耦合到啁啾二维光子晶体波导的输入端，使输出端观测到的透射谱在不同的频率上出现高锐度布拉格衍射谷，发生高锐度布拉格衍射谷的多个频率随着所述微流槽内填充物质折射率的变化而变化，从而实现了单片、低串扰、高灵敏度、高分辨率、易集成的多通道折射率传感器。