用于形成具有粗糙表面的发光二极管的光学对准方法

摘要

用于形成具有粗糙表面的发光二极管的光学对准方法。一种当用光刻制造发光二极管LED时对准晶片的方法。该方法包含在晶片上形成至少一个具有均方根RMS表面粗糙度σ_S的变粗糙的对准标记。该变粗糙的对准标记是由于进行等离子蚀刻使晶片对准标记驻留在其上的LED表面变粗糙而形成的。该方法还包含以具有波长λ_A的对准光使该至少一个变粗糙的晶片对准标记成像，该波长λ_A是在从约2σ_S到8σ_S的范围内。该方法还包含把检测的像与对准参考进行比较以建立晶片对准。一旦晶片对准被建立，p接触和n接触能够被形成在LED上表面上它们的适当位置中。