熔融盐浴、制备所述熔融盐浴的方法和钨膜

摘要

本发明提供一种熔融盐浴，其含有钨且具有100ppm以下的含水量和500ppm以下的含铁量。本发明还提供制备所述熔融盐浴的方法和钨膜，由所述熔融盐浴能够稳定地沉积高品质的钨。