一种右手非线性传输线微波倍频电路及其制作方法

摘要

本发明涉及微电子中微波电路技术领域，尤其涉及一种基于平面肖特基二极管的右手非线性传输线微波倍频电路及其制作方法。一种右手非线性传输线微波倍频电路，该倍频电路由23节右手非线性传输线单元串联构成，每节右手非线性传输线单元由并联的肖特基二极管和串联的两段相同传输线组成。本发明提供的右手非线性传输线微波倍频电路，优化了电路结构，简化了外围偏置电路；本发明提供的右手非线性传输线微波倍频电路的制作方法，简化相应电路制作工艺，以改善倍频电路的谐波输出功率，增加谐波转化效率，改善窄频带谐波输出特性，增强谐波输出纯度等特性。