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一种紫外二维全谱高分辨光学系统

摘要

一种紫外二维全谱高分辨光学系统,光学系统设计、光学仪器技术领域。该系统包括光源、滤波片切换装置、准直镜、聚光镜、入射狭缝、入射狭缝、全息光栅、中阶梯光栅、面阵CCD。所有组件通过定位底座固定在光学平台上相互连接,以保证各个组件的空间相对位置。利用滤波片将光谱范围分成120-240nm和240-480nm分时复用的两部分;利用衍射级次共用的设计思想,设计低色散全息凹面准直分光光栅代替传统系统中的准直镜和棱镜;全谱消像差光路设计;在不降低光学系统性能的前提下,将成本高的大面阵二维CCD探测器的成像面积缩小到原来的四分之一。该系统具有宽谱像差校正、高分辨、高光通量、全谱二维成像的显著优点。

著录项

  • 公开/公告号CN102967367B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-09-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 钢研纳克检测技术有限公司;

    申请/专利号CN201210518400.2

  • 发明设计人 武建芬;周超;

    申请日2012-12-05

  • 分类号G01J3/02(20060101);G02B27/44(20060101);G02B7/00(20060101);

  • 代理机构11207 北京华谊知识产权代理有限公司;

  • 代理人刘月娥

  • 地址 100081 北京市海淀区高粱桥斜街13号

  • 入库时间 2022-08-23 09:20:51

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-05-18

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01J 3/02 变更前: 变更后: 申请日:20121205

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2014-09-24

    授权

    授权

  • 2014-09-24

    授权

    授权

  • 2013-04-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 3/02 申请日:20121205

    实质审查的生效

  • 2013-04-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 3/02 申请日:20121205

    实质审查的生效

  • 2013-03-13

    公开

    公开

  • 2013-03-13

    公开

    公开

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