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ZnSnS薄膜与ZnSnS/SnS 异质结的制备与太阳能电池应用

摘要

三元ZnSnS薄膜的制备方法,以玻璃、陶瓷或硅片镀有金属膜作为电极构成带电极的衬底材料、或采用ITO衬底,经清洗后在电解液中以脉冲电位法进行电沉积,电解液的温度为室温至45℃;电沉积过程:在阴极即工作电极上夹好带电极的衬底或ITO衬底浸入到电解液中,调节脉冲电位法的参数为,开启电位-1.0至-1.2V,开启时间10,沉积时的关断电位不是0V,而是设置为负关断电位-0.6V,关断时间10s;重复上述电沉积过程或增加相应的脉冲次数以获得需要的厚度;本发明的改进脉冲电沉积制备方法,一步获得相关薄膜,其设备和制备过程简单,可实现大面积制备,成本低。

著录项

  • 公开/公告号CN102315333B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-07-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 南京大学;

    申请/专利号CN201110309884.5

  • 申请日2011-10-13

  • 分类号H01L31/18(20060101);H01L31/032(20060101);H01L31/06(20120101);C25D9/08(20060101);C25D5/18(20060101);

  • 代理机构32112 南京天翼专利代理有限责任公司;

  • 代理人陈建和

  • 地址 210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号

  • 入库时间 2022-08-23 09:20:32

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-07-30

    授权

    授权

  • 2012-03-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20111013

    实质审查的生效

  • 2012-01-11

    公开

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