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公开/公告号CN103091981B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-08-13
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201310009072.8
发明设计人 杜成孝;董鹏;郑海洋;魏同波;严清峰;吴奎;张逸韵;王军喜;李晋闽;
申请日2013-01-10
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人宋焰琴
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:20:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-08-13
授权
2013-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20130110
实质审查的生效
2013-05-08
公开
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