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激光诱致热成像用膜的去除装置

摘要

本发明涉及一种激光诱致热成像用膜的去除装置。该装置包括:基板台,该基板台上设置有基板;辊单元,相继压制设置在该基板台上的供体薄膜;以及喷射单元,设置于该基板台并在该供体薄膜和该基板之间喷射空气从而将该供体薄膜从该基板上分离。

著录项

  • 公开/公告号CN102315393B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-07-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 AP系统股份有限公司;

    申请/专利号CN201110176821.7

  • 发明设计人 梁相熙;金相午;将盛旭;金焕;

    申请日2011-06-28

  • 分类号

  • 代理机构北京派特恩知识产权代理有限公司;

  • 代理人武晨燕

  • 地址 韩国京畿道

  • 入库时间 2022-08-23 09:20:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-07-17

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 51/56 授权公告日:20140723 终止日期:20170628 申请日:20110628

    专利权的终止

  • 2014-07-23

    授权

    授权

  • 2014-07-23

    授权

    授权

  • 2012-03-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/56 申请日:20110628

    实质审查的生效

  • 2012-03-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 51/56 申请日:20110628

    实质审查的生效

  • 2012-01-11

    公开

    公开

  • 2012-01-11

    公开

    公开

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