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一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台

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本发明公开了一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台，扫描转台(2)安装在固定底座(1)上，固定底座(1)外部安装扫描转台(2)的驱动装置，驱动扫描转台(2)转动，扫描转台(2)上部固定安装三维定位平台(6)，固定底座(1)外侧安装传感器安装座(3)，传感器安装座(3)上分别安装z向跳动误差测量传感器(4)、x向跳动误差测量传感器(8)、第一摆动误差测量传感器(5)、第二摆动误差测量传感器(7)及第三摆动误差测量传感器(9)，根据各传感器测量误差的大小，可采用主动修正控制方法对扫描转台(2)进行误差修正，也可采用数学算法在三维图像重构过程中对跳动误差进行修正，即可减小或消除由转台转轴的位置误差精度而导致扫描图像失真问题。

著录项

公开/公告号CN102692421B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-07-23

原文格式PDF
申请/专利权人天津三英精密仪器有限公司;
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申请/专利号CN201210200993.8
发明设计人须颖;董友;
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申请日2012-06-18
分类号G01N23/04(20060101);
代理机构
代理人
地址 300399 天津市东丽经济开发区一经路1号105-17室
入库时间 2022-08-23 09:20:11

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2020-04-28

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N23/04 登记号:Y2020980001269 登记生效日:20200402 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津分行发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2020-04-17

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N23/04 授权公告日:20140723 登记号:2018120000044 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津分行解除日:20200324 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2020-04-17

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N23/04 授权公告日:20140723 登记号:2018120000044 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津分行解除日:20200324 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-11-30

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N23/04 登记号:2018120000044 登记生效日:20181107 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津分行发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-11-30

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N23/04 登记号:2018120000044 登记生效日:20181107 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津分行发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-11-30

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N 23/04 登记号:2018120000044 登记生效日:20181107 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津分行发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-11-27

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N23/04 授权公告日:20140723 登记号:2018120000038 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津东丽支行解除日:20181105 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-11-27

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N23/04 授权公告日:20140723 登记号:2018120000038 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津东丽支行解除日:20181105 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-11-27

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N 23/04 授权公告日:20140723 登记号:2018120000038 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津东丽支行解除日:20181105 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-11-27

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N 23/04 授权公告日:20140723 登记号:2018120000038 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津东丽支行解除日:20181105 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-11-13

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N23/04 登记号:2018120000038 登记生效日:20181019 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津东丽支行发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-11-13

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N23/04 登记号:2018120000038 登记生效日:20181019 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津东丽支行发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-11-13

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N 23/04 登记号:2018120000038 登记生效日:20181019 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津东丽支行发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-11-13

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N 23/04 登记号:2018120000038 登记生效日:20181019 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津东丽支行发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-11-13

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N 23/04 登记号:2018120000038 登记生效日:20181019 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:北京银行股份有限公司天津东丽支行发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-09-05

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N23/04 授权公告日:20140723 登记号:2016120000045 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司解除日:20170814 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-09-05

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N23/04 授权公告日:20140723 登记号:2016120000045 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司解除日:20170814 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-09-05

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N23/04 授权公告日:20140723 登记号:2016120000045 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司解除日:20170814 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-09-05

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N23/04 授权公告日:20140723 登记号:2016120000045 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司解除日:20170814 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-09-05

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N23/04 授权公告日:20140723 登记号:2016120000045 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司解除日:20170814 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2017-09-05

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):G01N 23/04 授权公告日:20140723 登记号:2016120000045 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司解除日:20170814 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-09-21

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N23/04 登记号:2016120000045 登记生效日:20160825 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-09-21

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N23/04 登记号:2016120000045 登记生效日:20160825 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-09-21

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N23/04 登记号:2016120000045 登记生效日:20160825 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-09-21

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N23/04 登记号:2016120000045 登记生效日:20160825 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-09-21

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N23/04 登记号:2016120000045 登记生效日:20160825 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-09-21

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N 23/04 登记号:2016120000045 登记生效日:20160825 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-09-21

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):G01N 23/04 登记号:2016120000045 登记生效日:20160825 出质人:天津三英精密仪器股份有限公司质权人:天津市东方海鑫中小企业担保有限公司发明名称:一种具有计量转轴的高精度x射线显微镜扫描样品台授权公告日:20140723 申请日:20120618

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-07-20

著录事项变更 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

著录事项变更
2016-07-20

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-07-20

著录事项变更 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

著录事项变更
2016-07-20

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-07-20

著录事项变更 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

著录事项变更
2016-07-20

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-07-20

著录事项变更 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

著录事项变更
2016-07-20

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-07-20

著录事项变更 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

著录事项变更
2016-07-20

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-07-20

著录事项变更 IPC(主分类):G01N 23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

著录事项变更
2016-07-20

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N 23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-07-20

著录事项变更 IPC(主分类):G01N 23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

著录事项变更
2016-07-20

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N 23/04 变更前: 变更后: 申请日:20120618

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2014-07-23

授权

授权
2014-07-23

授权

授权
2014-07-23

授权

授权
2014-07-23

授权

授权
2014-07-23

授权

授权
2014-07-23

授权

授权
2014-07-23

授权

授权
2014-07-09

专利申请权的转移 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20140618 申请日:20120618

专利申请权、专利权的转移
2014-07-09

专利申请权的转移 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20140618 申请日:20120618

专利申请权、专利权的转移
2014-07-09

专利申请权的转移 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20140618 申请日:20120618

专利申请权、专利权的转移
2014-07-09

专利申请权的转移 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20140618 申请日:20120618

专利申请权、专利权的转移
2014-07-09

专利申请权的转移 IPC(主分类):G01N23/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20140618 申请日:20120618

专利申请权、专利权的转移
2014-07-09

专利申请权的转移 IPC(主分类):G01N 23/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20140618 申请日:20120618

专利申请权、专利权的转移
2014-07-09

专利申请权的转移 IPC(主分类):G01N 23/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20140618 申请日:20120618

专利申请权、专利权的转移
2012-11-21

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/04 申请日:20120618

实质审查的生效
2012-11-21

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/04 申请日:20120618

实质审查的生效
2012-11-21

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/04 申请日:20120618

实质审查的生效
2012-11-21

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/04 申请日:20120618

实质审查的生效
2012-11-21

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/04 申请日:20120618

实质审查的生效
2012-11-21

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/04 申请日:20120618

实质审查的生效
2012-11-21

实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/04 申请日:20120618

实质审查的生效
2012-09-26

公开

公开
2012-09-26

公开

公开
2012-09-26

公开

公开
2012-09-26

公开

公开
2012-09-26

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2012-09-26

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2012-09-26

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