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热式质量流量调整器用的自动压力调整器

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在变更流量调整器的输出流量或变更流通的气体种类时，其输出侧的流量不产生过冲。本发明是一种向流量调整器供给的气体供给压力的自动压力调整器(20)，由压电元件驱动型压力调整阀(15)、控制压检测器(14)以及控制器(16)构成上述自动压力调整器(20)，该控制压检测器设在压力调整阀(15)的输出侧，该控制器被输入控制压检测器(14)的检测值(P

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公开/公告号CN102057340B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-07-16

原文格式PDF
申请/专利权人株式会社富士金;
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申请/专利号CN200980121364.2
发明设计人平田薰;杉田胜幸;西野功二;土肥亮介;池田信一;
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申请日2009-04-06
分类号
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人严志军
地址日本大阪府
入库时间 2022-08-23 09:20:07

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-07-16

授权

授权
2011-06-29

实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 16/20 申请日:20090406

实质审查的生效
2011-05-11

公开

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