托盘式基板输送系统、成膜方法和电子装置的制造方法

摘要

本发明提供一种托盘式基板输送系统、成膜方法和电子装置的制造方法，即使在移动载置基板时将基板向托盘移动载置的基板移动载置机构的精度低的情况下，也能够使托盘始终稳定地保持基板，能抑制在输送基板时基板自托盘偏移、破损、脱落的产生。在本发明的一实施方式中，在基板(102)被装载在第一托盘(106)上时加压机构对基板(102)施加压力，成为第一托盘(106)保持基板(102)的状态，将该第一托盘(106)安装到第二托盘(107)上，输送机构以第二托盘(107)倾斜的姿势输送到处理室(109)。在处理室(109)中，在减压状态下导入气体，使薄膜堆积在基板(102)上。