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一种高精度高动态性能的五轴离子束加工装置及其控制方法

摘要

一种高精度高动态性能的五轴离子束加工装置及其控制方法,该装置包括数控系统、机架组件、X轴直线运动组件、Y轴直线运动组件、Z轴直线运动组件、A轴直驱组件、B轴直驱组件、工件输送组件、离子源,通过五个方向上的驱动实现了离子源的精确运动。该方法为:沿光学镜面法向加工时,在工件坐标系内光学镜面点的位姿经旋转变化转换为机床坐标系内坐标点,并由法向等靶距加工,解算出机床各轴的运动位姿;再采用S型速度加工模式,解算出机床各轴在各个加工点的速度。本发明具有运动平稳、刚性好、精度高、动态性能高等优点。

著录项

  • 公开/公告号CN102757186B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-06-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国人民解放军国防科学技术大学;

    申请/专利号CN201210267218.4

  • 申请日2012-07-30

  • 分类号C03C23/00(20060101);

  • 代理机构43008 湖南兆弘专利事务所;

  • 代理人赵洪;周长清

  • 地址 410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47号中国人民解放军国防科学技术大学机电工程与自动化学院机电工程系

  • 入库时间 2022-08-23 09:19:56

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-06-25

    授权

    授权

  • 2012-12-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):C03C 23/00 申请日:20120730

    实质审查的生效

  • 2012-10-31

    公开

    公开

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