用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置

摘要

本发明公开了一种用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置，涉及声波换能器技术领域，包括：换能器(1)、振子单元(2)、固定装置(3)、耦合介质层(4)和阻抗变压器(8)，所述振子单元(2)通过所述固定装置(3)安装于所述换能器(1)上，所述振子单元(2)与固定装置(3)之间设有所述耦合介质层(4)，所述振子单元(2)由所述阻抗变压器(8)的功率输出驱动；所述振子单元(2)包括：至少两个振子组，其中，每个振子组包括至少一个压电晶体振子，每个振子组中的多个压电晶体振子的固有机械振动频率相当。本发明能够产生表面湿法腐蚀清洗所需要的均匀性声场，减小或去除兆声波声场干涉现象对晶片腐蚀清洗效果的影响。