薄固体膜片组成的层状结构的局部混合

摘要

一种多层半导体结构，由两个或多个不同材料制成的独立层构成，可以局部加以混合，以改变其组成，从而使原材料之间的区别消失，至少是部消失。这种混合方法采用脉冲或快速扫描激光或电子束进行照射，通常是在室温和常压下以不致在体质上损坏层状结构的能级进行。采用激光或电子束的多脉冲时可以达到彻底混合的效果。