一种高透过率低反射率的减反射膜镀膜方法

摘要

本发明涉及一种高透过率低反射率的减反射膜镀膜方法，是数码相机视窗玻璃、滤光片的关键技术，该技术还可应用于防辐射玻璃、隔温玻璃、车窗玻璃、太阳能利用等多种领域。在真空镀膜设备中由以下步骤完成：（1）抽真空（2）加热（3）离子清洗（Ar+O2）（4）镀SiO2（5）全氧气氛刻蚀（只充O2）（6）镀TiO2（7）全氧气氛刻蚀（只充O2），重复步骤（4）-（7）直到膜系结束。在不增加真空镀膜设备要求的条件下，提高AR膜在400-700纳米光波长区域的透过率，进一步降低反射率。