化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备及方法

摘要

本发明针对现有技术中镀制玻璃减反射膜时能源消耗大，定尺玻璃边部厚度偏薄至使玻璃废品率高的不足，提供一种化学汽相沉积法镀制玻璃减反射膜的设备及方法，该设备包括减反射膜原料供料装置、设置有汽化室的减反射膜液相原料汽化装置、废气处理装置、设置有喷嘴及排废气通道的镀膜器以及恒温装置，所述减反射膜原料供料装置与所述汽化装置的汽化室管连通，所述的汽化室与所述镀膜器的喷嘴管连通，所述排废气通道与所述废气处理装置管连通；本发明方法是在玻璃成型后、退火前镀制玻璃减反射膜，采用该设备及方法镀制的玻璃减反射膜膜层质量优秀、能耗低，生产规模大。