软磁性合金薄带及其制造方法以及具有软磁性合金薄带的磁性部件

摘要

一种制造软磁性合金薄带的方法，该软磁性合金薄带具有由Fe_100-x-y-zA_xB_yX_z(A为Cu和/或Au，X为选自Si、S、C、P、Al、Ge、Ga和Be中的至少一种元素，x、y和z分别为以原子％计满足0＜x≤5、10≤y≤22、1≤z≤10和x+y+z≤25的条件的数)表示的组成，具有平均粒径为60nm以下的微细晶粒以50％以上的体积分率分散的母相，表面形成的氧化被膜的一部分是B浓度比上述母相的平均B浓度低的层，该方法中，(1)通过将具有上述组成的合金的熔液喷出到旋转的冷却辊上而急冷，形成具有在非晶相中平均粒径30nm以下的微细结晶核以大于0％且小于30％的体积分率分散的母相的初始微结晶合金薄带，接着(2)对上述初始微结晶合金薄带在具有6～18％的氧浓度的气氛中实施热处理。