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公开/公告号CN1147924C
专利类型发明授权
公开/公告日2004-04-28
原文格式PDF
申请/专利权人 西门子公司;
申请/专利号CN98123097.0
发明设计人 彭杜清;
申请日1998-12-21
分类号H01L21/306;H01L21/308;H01L21/316;H01L21/8242;
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人黄敏
地址 联邦德国慕尼黑
入库时间 2022-08-23 08:56:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2010-02-17
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2004-04-28
授权
2001-04-11
实质审查请求的生效
1999-07-07
公开
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