压电液致动弹性膜位置电反馈式两级伺服阀及其控制方法

摘要

压电液致动弹性膜位置电反馈式两级伺服阀及其控制方法，属于微流体控制领域。它解决现有的小、微流量控伺服阀可靠性差的问题。压电液致动弹性膜位置电反馈式两级伺服阀，包括主阀体、固定阻尼孔、平衡弹簧、阀芯、导阀体、两个可变节流口、压电液制动弹性膜组件、伺服阀控器、位移传感器、五个流道和滑阀腔体；其方法是：通过控制压电液制动弹性膜组件的压电片输入电流的大小和正负，控制压电片形变的大小和方向，使得压电液致动弹性膜组件发生微小位移，左可变节流口和右可变节流口的等效液阻将发生变化，从而在阀芯的两端形成压差，推动阀芯运动，直至阀芯的位移反馈信号与给定输入信号相等。本发明适用于小流量及微流体控制。