公开/公告号CN102452040B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-05-14
原文格式PDF
申请/专利号CN201010524968.6
发明设计人 陈枫;
申请日2010-10-29
分类号
代理机构北京市磐华律师事务所;
代理人董巍
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:18:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-05-14
授权
授权
2013-02-06
专利申请权的转移 IPC(主分类):B24B 37/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20130105 申请日:20101029
专利申请权、专利权的转移
2012-06-27
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/04 申请日:20101029
实质审查的生效
2012-05-16
公开
公开
机译: 固定磨粒加工设备,固定磨粒加工方法和半导体晶片制造方法
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