用于电铸法的模具以及制造该模具的方法

摘要

本发明涉及一种用于制造模具(39，39’)的方法(3)，所述方法包括以下步骤：a)在由硅基材料制成的晶片(21)的顶部(20)和底部(22)上沉积(9)导电层；b)使用粘接层将所述晶片固定(13)到基材(23)；c)从晶片(21)的顶部除去(15)所述导电层的一部分(25)；d)以被从顶部导电层(22)除去的所述部分的形状(26)刻蚀(17)所述晶片直至其底部的导电层(22)，以便在所述模具中形成至少一个凹腔(25)。本发明涉及微机械部件尤其是钟表机芯的领域。