用于环境扫描电子显微镜的物镜组件/光阑座/检测器

摘要

用于环境扫描电子显微镜的整套电子光学/差压抽气/图象信号检测系统。该显微镜包括：圆柱形物镜磁屏蔽罩14；罩14包括真空衬管22和束流聚焦装置20，一磁性环47邻接罩14的下端并有两个轴向设置的抽气口；至少两个非磁孔板34，36和一终端磁性孔板38装在环47的不同轴向位置并向其内延伸。这些孔板至少确定了分别连通所述抽气口的两个内部通道；一个可拆卸地安装并密封于孔板34，36之中心孔内的光阑座和电子检测装置。